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超导材料

Superconducting Material

高温超导溅射靶材
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高温超导溅射靶材

HTS Sputtering Targets

用于 HTS 薄膜沉积及第二代超导带材生产

产品介绍

产品简介:

 

 

高温超导溅射靶材(HTS Sputtering Targets)是采用 REBCO 超导陶瓷粉末经特殊烧结工艺制备的溅射靶材,专为高温超导薄膜沉积而开发。适用于 PLD(脉冲激光沉积)、磁控溅射等多种薄膜沉积工艺,是第二代高温超导带材(2G HTS)生产线的关键耗材。支持多种形状和尺寸定制,并可根据客户工艺需求调整组成配方。

 

 

 

核心技术参数:

 

 

化学纯度

99.9%

原料高纯度保障

相纯度

纯 123 相

XRD 验证

靶材密度

85% – 90%

约 5.5 g/cm³

最大尺寸

Φ30 cm (12")

圆形靶最大直径

详细技术规格:

 

 

化学组成

YBa2Cu3O7-x、GdBa2Cu3O7-x、EuBa2Cu3O7-x;其他组成和掺杂(BZO、TiO2等)可按需定制

形状规格

圆形(直径最大 30cm/12")、方形、矩形及其他定制形状

靶材键合

支持多种键合方式(In 焊、Cu 背板等),按客户溅射设备要求定制

包装方式

防潮密封包装,附产品检测报告

化学纯度

99.9%(标准规格)

相纯度

纯 123 相,XRD 确认

靶材密度

理论密度的 85%–90%(约 5.5 g/cm³)

典型应用场景:

 

 

● 第二代超导带材(2G HTS)生产 作为卷对卷磁控溅射生产线的 REBCO 功能层靶材,直接决定带材的超导性能,是核心耗材。

● PLD 超导薄膜研究 脉冲激光沉积工艺中的超导陶瓷靶材,用于制备高品质 REBCO 外延薄膜,适合科研和小批量生产。

● 超导约瑟夫森结器件 用于超导量子干涉仪(SQUID)、超导单光子探测器(SNSPD)等量子器件的薄膜制备原料。

● 超导微波器件 制备用于基站滤波器、探测系统的高温超导微波薄膜器件。

● 薄膜工艺研发 为高校和研究机构提供稳定一致的 REBCO 靶材,用于超导薄膜沉积工艺参数优化研究。

 

 

 

联系我们 / 发起询价:

 

 

请告知以下信息,我们将在 1 个工作日内回复:

  ● 所需额定电流大小(A)

  ● 操作温度(77K 液氮 / 4K 液氦 / 其他)

  ● 是否需要 G-10 保护管或铜编织线接头

  ● 数量需求

  ● 应用场景(磁体类型、制冷方式等)

电话/微信:136 7015 8145(黎经理)

 

 

 

版权所有:深圳市富临神通科技有限公司

官方微信公众号

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